ISO 5级洁净室,也称为100级洁净室,每立方英尺空气仅允许100个大小为0.5 µm或更大的颗粒(100,000颗粒/每m³)。这种分类在光谱的更关键的一端,需要高水平的过滤。即使要进入100级,也需要通过其他ISO受控环境。
可能需要100级洁净室的制造业包括航空航天,光学,半导体,太阳能,硅片板,记录介质和可植入医疗设备。为了成功启动精心设计的ISO 5洁净室,预计划,过程实施和理解系统工程是至关重要的组成部分。
ISO教室标识的命名(ISO标准146144-1:2015)基于每m 3空气中≥0.1 µm或更大的允许颗粒数的十进制对数,而联邦标准209E的编号类别表示空气中允许的微粒≥0.5 mm / ft 3。
在理想情况下,要实现ISO 5空气清洁度,您必须通过ISO 8(前室)进入洁净室,然后先通过ISO 7,再通过ISO 6,然后再进入。尽管这并不总是可行的,但法规要求两个连通的房间的清洁度等级相差不得超过两个数量级。
100级无尘室和清洁器设施采用层流或单向气流去除空气中的掺假物??掌?.3-0.5 m / s的速度沿一个方向向下扫过房间,然后离开地板。超低渗透空气(ULPA)过滤效率高达99.9995%,可去除高达0.12微米的空气中颗粒。
100级洁净室的空气微粒清洁度
| 
				 美光  | 
			
				 0.1  | 
			
				 0.2  | 
			
				 0.3  | 
			
				 0.5  | 
			
				 1个  | 
			
				 5  | 
		
| 
				 颗粒/ m 3  | 
			
				 100,000  | 
			
				 23,700  | 
			
				 10,200  | 
			
				 3,520  | 
			
				 832  | 
			
				 29  | 
		
	
	证明持续合规的测试时间表
| 
				 测试参数  | 
			
				 班级  | 
			
				 zui大时间间隔  | 
			
				 测试程序  | 
		
| 
				 颗粒计数测试  | 
			
				 <= ISO 5  | 
			
				 6个月  | 
			
				 ISO 14644-1附录A  | 
		
| 
				 气压差  | 
			
				 所有课程  | 
			
				 12个月  | 
			
				 ISO 14644-1附件B5  | 
		
| 
				 空气流动  | 
			
				 所有课程  | 
			
				 12个月  | 
			
				 ISO 14644-1附件B4  | 
		
	
	联邦和ISO气流速度标准
| 
				 等级:ISO 146144-1(联邦标准209E)  | 
			
				 平均风速(m / s(ft / min))  | 
			
				 每小时换气次数  | 
			
				 天花板覆盖  | 
		
| 
				 ISO 5(100级)  | 
			
				 0.203 – 0.406(40 – 80)  | 
			
				 240 – 480  | 
			
				 35 – 70%  | 
		
美G“环境科学技术研究所”(IEST)建议为100级(ISO5)洁净室使用以下衣物。
为了zui大程度地减少ISO 5洁净室中颗粒物的污染,只允许使用无脱落的洁净室PPE。它们通常由Gortex,Tyvek,Dacron或其他非织造材料(如聚丙烯或其他微孔材料)制成。
蓬松的
胡子盖
口罩
手套
ISO 5或100级手套符合ISO和FED STD 209E等级。这些袋装手套经处理不含微生物,不含粉末。一次使用后将其丢弃。
鞋套
设置袍子区,以方便拿取洁净室服装。
日常用品(例如笔,记事本和纸张)不适合用于洁净室设置。Lap Pro存有您需要的洁净室记录杂物。
洁净室化学品
打扫
洁净室测试